Տեղադրում

Երբ դուք տեղակայում եք ամենակարևոր նստեցման ծրագրերը և սարքերի երկրաչափությունները, ձեզ անհրաժեշտ է հուսալի շուկայի առաջատար։
Advanced Energy-ի ռադիոհաճախականության հզորության մատակարարումը և բարձր արագության համապատասխանեցման տեխնոլոգիան թույլ են տալիս հարմարեցնել և օպտիմալացնել հզորության ճշգրտությունը, ճշգրտությունը, արագությունը և գործընթացի կրկնելիությունը, որոնք անհրաժեշտ են բոլոր առաջադեմ PECVD և PEALD նստեցման գործընթացների համար։
Օգտագործեք մեր DC գեներատորի տեխնոլոգիան՝ ձեր կարգավորելի աղեղային արձագանքը, հզորության ճշգրտությունը, արագությունը և գործընթացի կրկնելիությունը, որոնք անհրաժեշտ են PVD (ցողման) և ECD նստեցման գործընթացները, կատարելագործելու համար։
Առավելություններ

● Պլազմայի կայունության բարձրացումը և գործընթացի կրկնելիությունը մեծացնում են բերքատվությունը
● Ճշգրիտ RF և DC մատակարարումը՝ լիարժեք թվային կառավարմամբ, օգնում է օպտիմալացնել գործընթացի արդյունավետությունը
● Արագ արձագանք պլազմայի փոփոխություններին և աղեղի կառավարմանը
● Բազմամակարդակ իմպուլսացիան՝ ադապտիվ հաճախականության կարգավորման միջոցով, բարելավում է փորագրման արագության ընտրողականությունը
● Հասանելի է գլոբալ աջակցություն՝ առավելագույն աշխատանքային ժամանակ և արտադրանքի արդյունավետություն ապահովելու համար