Ավանդադրում
Ստացեք պատկերացումներ և արագացրեք զարգացման գործընթացը:
Advanced Energy-ն ապահովում է էլեկտրամատակարարման և կառավարման լուծումներ բարակ թաղանթների տեղադրման կարևոր կիրառությունների և սարքի երկրաչափությունների համար:Վաֆլի մշակման մարտահրավերները լուծելու համար էներգիայի փոխակերպման մեր ճշգրիտ լուծումները թույլ են տալիս օպտիմալացնել էներգիայի ճշգրտությունը, ճշգրտությունը, արագությունը և գործընթացի կրկնելիությունը:
Մենք առաջարկում ենք ռադիոհաճախականությունների լայն տեսականի, հաստատուն էներգիայի համակարգեր, ելքային էներգիայի հարմարեցված մակարդակներ, համապատասխան տեխնոլոգիաներ և օպտիկամանրաթելային ջերմաստիճանի մոնիտորինգի լուծումներ, որոնք իսկապես թույլ են տալիս ձեզ ավելի լավ վերահսկել պրոցեսի պլազման:Մենք նաև ինտեգրում ենք Fast DAQ™ և տվյալների ձեռքբերման և հասանելիության մեր փաթեթը՝ գործընթացի պատկերացում կազմելու և զարգացման գործընթացը արագացնելու համար:
Իմացեք ավելին մեր կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացների մասին՝ ձեր կարիքներին համապատասխան լուծում գտնելու համար:
Ձեր մարտահրավերը
Ինտեգրված սխեմայի չափսերի ձևավորման համար օգտագործվող թաղանթներից մինչև հաղորդիչ և մեկուսիչ թաղանթներ (էլեկտրական կառուցվածքներ), մինչև մետաղական թաղանթներ (փոխկապակցվածություն), ձեր նստեցման գործընթացները պահանջում են ատոմային մակարդակի հսկողություն՝ ոչ միայն յուրաքանչյուր հատկանիշի համար, այլև ամբողջ վաֆլի համար:
Կառուցվածքից բացի, ձեր ավանդադրված ֆիլմերը պետք է լինեն բարձրորակ:Նրանք պետք է ունենան հացահատիկի ցանկալի կառուցվածք, միատարրություն և համապատասխան հաստություն, և լինեն դատարկությունից զերծ, և դա ի լրումն անհրաժեշտ մեխանիկական սթրեսների (սեղմման և առաձգականության) և էլեկտրական հատկությունների ապահովումն է:
Բարդությունը միայն շարունակում է աճել։Լիտոգրաֆիայի սահմանափակումները (sub-1X nm հանգույցներ) լուծելու համար ինքնահաստատված կրկնակի և քառակի նախշերով տեխնիկան պահանջում է ձեր ավանդադրման գործընթացը յուրաքանչյուր վաֆլի վրա նախշը արտադրելու և վերարտադրելու համար:
Մեր լուծումը
Երբ տեղադրում եք ամենակարևոր տեղադրման հավելվածները և սարքերի երկրաչափությունները, ձեզ անհրաժեշտ է շուկայի հուսալի առաջատար:
Ընդլայնված էներգիայի ՌԴ էլեկտրաէներգիայի մատակարարումը և բարձր արագության համապատասխան տեխնոլոգիան թույլ են տալիս հարմարեցնել և օպտիմալացնել էներգիայի ճշգրտությունը, ճշգրտությունը, արագությունը և գործընթացների կրկնելիությունը, որոնք անհրաժեշտ են PECVD և PEALD ավանդադրման բոլոր առաջադեմ գործընթացների համար:
Օգտագործեք մեր DC գեներատորի տեխնոլոգիան՝ ճշգրտելու ձեր կարգավորվող աղեղային արձագանքը, հզորության ճշգրտությունը, արագությունը և գործընթացի կրկնելիությունը, որոնք պահանջվում են PVD (sputtering) և ECD-ի տեղադրման գործընթացները:
Օգուտները
● Պլազմայի ուժեղացված կայունությունը և գործընթացի կրկնելիությունը մեծացնում են եկամտաբերությունը
● Ճշգրիտ RF և DC առաքումը լրիվ թվային հսկողությամբ օգնում է օպտիմալացնել գործընթացի արդյունավետությունը
● Արագ արձագանք պլազմայի փոփոխություններին և աղեղի կառավարմանը
● Բազմաստիճան իմպուլսավորումը հարմարվողական հաճախականության թյունինգով բարելավում է փորագրման արագության ընտրողականությունը
● Համաշխարհային աջակցություն հասանելի է առավելագույն ժամանակի և արտադրանքի արդյունավետությունն ապահովելու համար