Միկրոալիքային հզորություն
-
Միկրոալիքային էներգիայի մատակարարում
Միկրոալիքային անջատիչ էներգիայի մատակարարումը միկրոալիքային էներգիայի մատակարարման նոր տեսակ է, որը հիմնված է IGBT բարձր հաճախականության ինվերտորային տեխնոլոգիայի վրա: Այն միավորում է անոդային բարձր լարման սնուցման աղբյուրը, թելիկային սնուցման աղբյուրը և մագնիսական դաշտի սնուցումը (բացառությամբ 3 կՎտ միկրոալիքային էներգիայի մատակարարման): Ալիքային մագնետրոնն ապահովում է աշխատանքային պայմաններ։ Այս արտադրանքը օգտագործվում է MPCVD-ի, միկրոալիքային պլազմայի փորագրման, միկրոալիքային պլազմայի մաքրման և այլ ոլորտներում: