Միկրոալիքային հզորություն
-
Միկրոալիքային հզորություն
Միկրոալիքային անջատիչ էներգիայի մատակարարումը միկրոալիքային էներգիայի մատակարարման նոր տեսակ է, որը հիմնված է IGBT բարձր հաճախականության ինվերտորային տեխնոլոգիայի վրա:Այն միավորում է անոդային բարձր լարման սնուցման աղբյուրը, թելիկային սնուցման աղբյուրը և մագնիսական դաշտի սնուցումը (բացառությամբ 3 կՎտ միկրոալիքային էներգիայի մատակարարման):Ալիքային մագնետրոնն ապահովում է աշխատանքային պայմաններ։Այս արտադրանքը օգտագործվում է MPCVD-ի, միկրոալիքային պլազմայի փորագրման, միկրոալիքային պլազմայի մաքրման և այլ ոլորտներում: