RMA շարքի համապատասխանեցումներ
-
RMA շարքի համապատասխանեցումներ
Այն կարող է հարմարեցվել RLS շարքի ռադիոհաճախականության սնուցման աղբյուրին և լայնորեն կիրառվում է պլազմային փորագրման, ծածկույթների, պլազմային մաքրման, պլազմային դեգումինգի և այլ գործընթացներում: Երբ օգտագործվում է առանձին, այն կարող է օգտագործվել այլ արտադրողների ռադիոհաճախականության սնուցման աղբյուրների հետ միասին: