TPM5 Series Power Controller
-
TPM5 Series Power Controller
TPM5 սերիայի հոսանքի կարգավորիչը ընդունում է մոդուլի նախագծման գաղափարը և ներսում ինտեգրում է մինչև 6 սխեման: Արտադրանքը հիմնականում օգտագործվում է դիֆուզիոն վառարաններում, PECVD-ում, էպիտաքսի վառարաններում և այլն։