TPM5 շարքի հզորության կարգավորիչ
-
TPM5 շարքի հզորության կարգավորիչ
TPM5 շարքի հզորության կարգավորիչը ընդունում է մոդուլի նախագծման գաղափարը և ներսում ինտեգրում է մինչև 6 շղթա։ Արտադրանքը հիմնականում օգտագործվում է դիֆուզիոն վառարաններում, PECVD-ում, էպիտաքսիային վառարաններում և այլն։