TPM5 Series Power Controller
-
TPM5 Series Power Controller
TPM5 սերիայի էներգիայի կարգավորիչը ընդունում է մոդուլի նախագծման գաղափարը և ինտեգրում է մինչև 6 սխեման ներսում:Արտադրանքը հիմնականում օգտագործվում է դիֆուզիոն վառարաններում, PECVD-ում, էպիտաքսի վառարաններում և այլն։