MSB Series Միջին հաճախականության Sputtering Power Supply

Կարճ նկարագրություն:

MSB շարքը հիմնված է ալիքի ձևի մոդուլյացիայի իր հիանալի տեխնոլոգիայի վրա՝ DC, DC իմպուլս, երկկողմանի քառակուսի ալիք, երկկողմանի trapezoidal ալիք և այլ ալիքային ձևեր արտադրելու համար:Արտադրանքն ունի կարգավորելի ելքային ալիքի ձև, ընտրելի ելքային հաճախականություն, կարգավորելի աշխատանքային ցիկլ և հզորության ճշգրիտ վերահսկում:Ինչպես նաև էներգիայի ցածր պահեստավորում և արագ արձագանք:Ապահովեք հարմար և ճշգրիտ հսկողություն ծածկույթի գործընթացի համար:Ապրանքները հիմնականում օգտագործվում են բարակ թաղանթների արտադրության տարբեր գործընթացներում, արևային բջիջների արդյունաբերության և վակուումային ծածկույթների արդյունաբերության մեջ.կիրառման գործընթացներ՝ մագնետրոնային ցրման գործընթաց, երկակի թիրախային ցրում և խողովակային PECVD:

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Նամակ ուղարկեք մեզ

Հատկություններ

Դարակի տեղադրում
Արագ աղեղային արձագանք, արձագանքման ժամանակ <100 վս
Ցածր էներգիայի կուտակում, <0,5 մՋ/ԿՎտ
Բազմաֆազ միահյուսված PFC տեխնոլոգիա, հզորության գործակիցը բարձր է մինչև 0,95
Կարող են ընտրվել տարբեր ելքային ռեժիմներ, շարունակական և ընդհատվող ռեժիմներ
Ինվերտորային միացումն ընդունում է ամբողջական փափուկ անջատման տեխնոլոգիան և օգտագործում է երրորդ սերնդի կիսահաղորդչային SiC-ը որպես էներգիայի սարք՝ գերազանց արդյունավետությամբ։
Ճշգրիտ աղեղի հայտնաբերում, հասանելի մոնիտորինգի բազմաթիվ մեթոդներ